[15p-2V-1~22] 8.1 Plasma production and control

[15p-2V-12] Gas temperature measurement in DC-VHF magnetron plasma by absorption spectroscopy

〇KENTA SETAKA¹, Takashi Fukui¹, Kensuke Sasai¹, Hirotaka Toyoda^1,2 (1.Nagoya Univ., 2.PLANT, Nagoya Univ.)

Keywords:plasma,magnetron plasma,gas temperature

マグネトロンプラズマは酸化物材料を代表とする成膜プロセスに用いられる手法の一つである。一般的にスパッタ成膜における膜品質は成膜時の基板温度に影響されることが知られており、このことは膜品質がプラズマ放電条件に強く影響を受けることを示唆している。今回我々は狭線幅レーザーを用いた吸収分光法によりVHF-DC重畳マグネトロンプラズマのガス温度計測をおこなったので報告する。