[15p-4E-1~23] 7.2 電子ビーム応用

[15p-4E-11] 磁界重畳型対物レンズを搭載したマルチエミッタ評価用SEEM/PEEM装置の分解能測定

〇(M2)高須 浩貴¹、浅井 大誠¹、村田 英一¹、六田 英治¹、下山 宏¹ (1.名城大理工)

キーワード：分解能測定、SEEM、PEEM