[15p-4E-1~23] 7.2 電子ビーム応用

[15p-4E-13] 電子ビーム露光によるフォギング電子のバイアス電圧依存性

〇(M1)東海 昌司¹、半田 勇希¹、河本 拓也¹、小寺 正敏¹ (1.大阪工大)

キーワード：走査電子顕微鏡、絶縁体、表面電位分布測定