[15p-4E-1~23] 7.2 Applications and technologies of electron beams

[15p-4E-5] Observation of bulk materials using atmospheric scanning electron microscope

〇minami shoji¹, Yusuke Ominami¹, Shinsuke Kawanishi¹, Makoto Nakabayashi¹, Sukehiro Ito¹ (1.Hitachi Hightech Crop.)

Keywords:atmospheric scanning electron microscope

隔膜と試料が非接触な大気圧ＳＥＭを開発したことにより、従来の方式では困難とされてきたバルク試料の大気圧ＳＥＭ観察が可能となった。また、電子線が大気下を走査する際に発生する電子線散乱を補正する技術を開発した。