[15p-4E-1~23] 7.2 電子ビーム応用

[15p-4E-5] 大気圧SEMにおけるバルク試料観察

〇庄子 美南¹、大南 祐介¹、河西 晋佐¹、中林 誠¹、伊東 祐博¹ (1.（株）日立ハイテク)

キーワード：大気圧ＳＥＭ

隔膜と試料が非接触な大気圧ＳＥＭを開発したことにより、従来の方式では困難とされてきたバルク試料の大気圧ＳＥＭ観察が可能となった。また、電子線が大気下を走査する際に発生する電子線散乱を補正する技術を開発した。