[15p-4E-1~23] 7.2 電子ビーム応用

△ [15p-4E-7] 円環・円孔電極を用いた電界型Csコレクタの開発（１）－計算－

〇高井 康行¹、小川 雄紀¹、川﨑 忠寛^2,3、石田 高史³、児玉 哲司¹、生田 孝⁴ (1.名城大院 理工学研究科、2.(財)ファインセラミックスセンター、3.名古屋大学 エコトピア科学研究所、4.大阪電気通信大学 工学部)

キーワード：球面収差補正器、電界レンズ、走査透過型電子顕微鏡

円環状および円孔形状の電極２枚とその間に電圧を印加する定電圧電源のみで構成される簡便な球面収差補正器を新規開発している。実機開発にあたり、電極周囲に形成される電界の３次元解析とその電界中での電子軌道計算により、最適な球面収差補正条件を検討した。その結果より、対物レンズの球面収差をキャンセルできる適切な電圧を求めた。また、電極の加工・組立に対して要求される精度を検証した。