[15p-4F-1~25] 6.2 カーボン系薄膜

△ [15p-4F-6] 黒ダイヤモンドを用いた電解質溶液ゲートFETの電気的特性評価

〇(M1)楢村 卓朗¹、モフドスクリ シャイリ¹、稲葉 優文¹、小林 幹典¹、新谷 幸弘^1,2、平岩 篤¹、川原田 洋¹ (1.早稲田理工学術院、2.横河電機)

キーワード：ダイヤモンド、MOSFET、センサ