[15p-PB2-1~53] 8 プラズマエレクトロニクス（ポスター）

△ [15p-PB2-34] RF励起大気圧プラズマジェットを用いた高導電性銅薄膜堆積

〇相澤 祐汰¹、永津 雅章^1,2 (1.静大院工、2.創造科技院)

キーワード：プラズマ、銅薄膜