[15p-PB2-1~53] 8 プラズマエレクトロニクス（ポスター）

[15p-PB2-43] マグネトロンスパッタリングを用いたSi含有カーボン薄膜の成膜

〇(M1)大河内 優¹、太田 貴之¹、小田 昭紀²、上坂 裕之³ (1.名城大理工、2.千葉工大、3.名大院工)

キーワード：スパッタリング、DLC