[15p-PB2-1~53] 8 プラズマエレクトロニクス（ポスター）

[15p-PB2-49] PBII法を用いたペニング効果のHe添加率依存性

〇野口 央照¹、下野 和洋¹、竹内 高伸¹、旛山 翔¹、角川 幸治¹、田中 武¹ (1.広島工大)

キーワード：プラズマベースイオン注入法

ペニング効果の殺菌処理への応用のための基礎研究とし, PBII法を用いて, ペニング効果によるプラズマ中イオンの性状変化の検討のため, 純酸素に対しHeを10%,30%及び50%添加した場合の電圧電流特性の比較を行った.
純酸素と比較してHe10%の添加により, 電圧波形の立ち上がり時間の短縮と電流の増加が見られた. この結果から, ペニング効果による, イオン量増加の可能性が示唆された.