2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会

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8 プラズマエレクトロニクス » 8 プラズマエレクトロニクス(ポスター)

[15p-PB2-1~53] 8 プラズマエレクトロニクス(ポスター)

2015年9月15日(火) 18:30 〜 20:30 PB2 (白鳥ホール)

18:30 〜 20:30

[15p-PB2-52] 紫外光アシストCF4プラズマでエッチンングされたAlGaN表面分析

〇新部 正人1、川上 烈生2、中野 由崇3、竹平 徳崇1、平井 翔大1、荒木 佑馬1、東 知里2、向井 孝志4 (1.兵庫県大高度研、2.徳島大院工、3.中部大工、4.日亜化学)

キーワード:AlGaN/GaN、ノーマリオフ、プラズマ誘起ダメージ