[15p-PB2-1~53] 8 プラズマエレクトロニクス（ポスター）

[15p-PB2-52] 紫外光アシストCF₄プラズマでエッチンングされたAlGaN表面分析

〇新部 正人¹、川上 烈生²、中野 由崇³、竹平 徳崇¹、平井 翔大¹、荒木 佑馬¹、東 知里²、向井 孝志⁴ (1.兵庫県大高度研、2.徳島大院工、3.中部大工、4.日亜化学)

キーワード：AlGaN/GaN、ノーマリオフ、プラズマ誘起ダメージ