[16a-1C-1~11] 13.5 デバイス／集積化技術

[16a-1C-3] ショットキー障壁トンネルFETのスケーリング耐性の解析

〇徐 泰宇¹、橋本 修一郎¹、武井 康平¹、ソン セイ¹、麻田 修平¹、張 旭¹、渡邉 孝信¹ (1.早大理工)

キーワード：ナノワイヤ、ショットキー、トンネルFET