[16a-1D-1~12] 15.4 III-V-group nitride crystals

[16a-1D-2] Emission property of flip-chip nanocolumn LED

〇Daishi Fukushima¹, Hiroaki Hayashi¹, Tomohiro Noma¹, Yuta Konno¹, Katsumi Kishino^1,2 (1.Sophia Univ., 2.Sophia Nanotechnology)

Keywords:nanocolumn,flip chip

窒化物ナノコラム結晶は，選択成長法を用いて，転位密度の高いスパッタAlN膜上においても規則配列を実現した。さらにスパッタ成膜AlN上ナノコラムウェハを放熱性の高いキャリアにフリップチップ(FC)ボンディングし，可視中域での電流注入発光を実現した。本研究ではFCナノコラムの発光特性を評価するとともに，結晶品質評価と注入分布評価をすることで特性向上に向けたボトルネックが加工実装にあることを明らかにした。