[16a-1D-1~12] 15.4 III-V族窒化物結晶

[16a-1D-2] フリップチップナノコラムLEDの発光特性評価

〇福島 大史¹、林 宏暁¹、野間 友博¹、今野 裕太¹、岸野 克巳^1,2 (1.上智大、2.上智大ナノテクセンタ)

キーワード：ナノコラム、フリップチップ

窒化物ナノコラム結晶は，選択成長法を用いて，転位密度の高いスパッタAlN膜上においても規則配列を実現した。さらにスパッタ成膜AlN上ナノコラムウェハを放熱性の高いキャリアにフリップチップ(FC)ボンディングし，可視中域での電流注入発光を実現した。本研究ではFCナノコラムの発光特性を評価するとともに，結晶品質評価と注入分布評価をすることで特性向上に向けたボトルネックが加工実装にあることを明らかにした。