[16a-2F-1~12] 3.14 光制御デバイス・光ファイバー

[16a-2F-3] 3次元光インターコネクション用ポリマー２層構造4×4光スイッチの特性改善の検討

〇(M1)木村 優一¹、江間 絢生¹、松島 裕一¹、石川 浩²、宇高 勝之¹ (1.早大基幹理工、2.GCS機構)

キーワード：ポリマー、3次元、光スイッチ

3次元光回路は、高機能な光インターコネクションが期待される。我々はこれまでにポリマー3次元光スイッチの作製を行ってきた。以前発表した3次元4×4光スイッチでは、上下ポート接続部導波路の変形が見られた。そこで今回作製プロセスを改善した素子の評価を行ったので報告する。