[16a-2K-1~12] 1.3 Novel technologies and interdisciplinary engineering

[16a-2K-5] pH measurement of ultra-diluted chemistries

〇Kazuhiro Miyamura¹, Yoko Nakai¹, Yoshihiro Mori¹ (1.HORIBA, Ltd.)

Keywords:semiconductor,pH,chemical

半導体プロセスにおいてエッチング液や洗浄液の多成分化・希薄化が進行しており、従来技術では各成分の濃度測定が困難になりつつある。そこで希薄薬液の特性を顕著に表すpHを指標とした数ppmレベルの薬液成分濃度測定の可能性を検討した。