[16a-2L-1~11] 6.1 強誘電体薄膜

△ [16a-2L-6] 正圧電効果による強誘電ドメインの観察

〇苅谷 健人¹、吉村 武¹、藤村 紀文¹ (1.阪府大院工)

キーワード：正圧電効果、強誘電ドメイン、SPM

本研究では走査プローブ顕微鏡(SPM)を用いた新規な圧電応答評価方法として、カンチレバーから試料に歪を加えることで得られる微視的領域からの正圧電応答を用いて分極ドメイン構造を観察することに取り組んだ。従来の逆圧電応答とは異なり、本手法は本質的に圧電以外の成分は現れないという特徴がある。圧電応答力顕微鏡(PFM)と本手法の結果の比較から、強誘電ドメイン構造の観察が可能であることを示すことができた。