The 76th JSAP Autumn Meeting, 2015

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Oral presentation

8 Plasma Electronics » 8.3 deposition of thin film and surface treatment

[16a-2Q-10~13] 8.3 deposition of thin film and surface treatment

Wed. Sep 16, 2015 11:15 AM - 12:15 PM 2Q (231-1)

座長:野崎 智洋(東工大)

11:45 AM - 12:00 PM

[16a-2Q-12] Fabrication of ITO thin films by lift-off process using hybrid facing-target sputtering

〇Shinichi Morohashi1, Naoyuki Harada1, Takuya Murata1 (1.Yamaguchi Univ.)

Keywords:Hybrid facing-target sputtering,Lift-off process

ハイブリッド対向スパッタを用いて,予めレジストでパターン形成されたガラス基板上にITO薄膜を堆積する,リフトオフプロセスの検討,及び電気抵抗率のプローバー測定で作製したITO薄膜の膜質評価を行った。