11:45 AM - 12:00 PM
[16a-2Q-12] Fabrication of ITO thin films by lift-off process using hybrid facing-target sputtering
Keywords:Hybrid facing-target sputtering,Lift-off process
ハイブリッド対向スパッタを用いて,予めレジストでパターン形成されたガラス基板上にITO薄膜を堆積する,リフトオフプロセスの検討,及び電気抵抗率のプローバー測定で作製したITO薄膜の膜質評価を行った。