12:00 PM - 12:15 PM
[16a-2Q-13] Preparation of Er2O3/TiO2 Dielectric Multilayer Film by Sputtering Method
Keywords:sputtering,dielectric multilayer film
特定波長の光を透過するバンドパスフィルター(BPF)機能を有する誘電体BPF薄膜の作製を目的とし,高屈折率材料に酸化チタン(TiO2),低屈折率材料に酸化エルビウム(Er2O3)を用いて[Er2O3/TiO2]6/[Er2O3]2/[TiO2/Er2O3]6構造を持つ誘電体多層膜をスパッタリング法により作製した.本研究では,中心透過波長による膜厚設計,薄膜作製条件の最適化,および光学的特性について検討を行った.