[16a-2Q-10~13] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

[16a-2Q-12] ハイブリッド対向スパッタを用いたリフトオフプロセスによるITO透明導電膜作製

〇諸橋 信一¹、原田 直幸¹、村田 卓也¹ (1.山口大)

キーワード：ハイブリッド対向スパッタ、リフトオフプロセス

ハイブリッド対向スパッタを用いて，予めレジストでパターン形成されたガラス基板上にITO薄膜を堆積する，リフトオフプロセスの検討，及び電気抵抗率のプローバー測定で作製したITO薄膜の膜質評価を行った。