10:00 〜 10:15
[16a-2Q-5] プラズマ化学輸送法によるh-BN原子層の形成に向けて – キャリアガスの影響
キーワード：h-BN、原子層、プラズマ
講演情報
一般セッション(口頭講演)
8 プラズマエレクトロニクス » 8.5 プラズマナノテクノロジー
[16a-2Q-1~9] 8.5 プラズマナノテクノロジー
2015年9月16日(水) 09:00 〜 11:15 2Q (231-1)
座長:野崎 智洋(東工大)
一般セッション(口頭講演)
8 プラズマエレクトロニクス » 8.5 プラズマナノテクノロジー
2015年9月16日(水) 09:00 〜 11:15 2Q (231-1)
座長:野崎 智洋(東工大)
10:00 〜 10:15
キーワード：h-BN、原子層、プラズマ