[16a-2R-1~11] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[16a-2R-7] β-FeSi₂多結晶薄膜における電気伝導機構の検証(II)

〇東 貴彦¹、服部 哲¹、寺井 慶和^1,2 (1.鹿児島大理工、2.九工大情報工)

キーワード：シリサイド