[16a-2U-1~12] 6.6 Probe Microscopy

[16a-2U-11] Nanoscaled Permittivity Distribution Mapping Using an SNDM Probe

〇Yoshiomi Hiranaga¹, Norimichi Chinone¹, Kotaro Hirose¹, Yasuo Cho¹ (1.RIEC Tohoku Univ.)

Keywords:scanning probe microscopy,permittivity measurement,scanning nonlinear dielectric microscopy

半導体デバイスをはじめとする各種電子デバイスの高性能化や微細化に伴い，微小領域における線形誘電率分布の測定の重要性は，今後ますます高まるものと考えられる．しかし一方で微小領域における線形誘電率計測は寄生容量の影響により困難となる場合が多々ある．本研究では誘電材料のナノスケールでの誘電率の面内分布を可視化する新規手法を提案する．