[16a-2U-1~12] 6.6 プローブ顕微鏡

[16a-2U-11] SNDMプローブを用いたナノスケール線形誘電率分布マッピング

〇平永 良臣¹、茅根 慎通¹、廣瀬 光太郎¹、長 康雄¹ (1.東北大通研)

キーワード：走査型プローブ顕微鏡、誘電率測定、走査型非線形誘電率顕微鏡

半導体デバイスをはじめとする各種電子デバイスの高性能化や微細化に伴い，微小領域における線形誘電率分布の測定の重要性は，今後ますます高まるものと考えられる．しかし一方で微小領域における線形誘電率計測は寄生容量の影響により困難となる場合が多々ある．本研究では誘電材料のナノスケールでの誘電率の面内分布を可視化する新規手法を提案する．