[16a-2U-1~12] 6.6 Probe Microscopy

△ [16a-2U-2] Visualization of subsurface structures by using band excitation method in atomic force microscopy

〇(PC)Atsushi Yao¹, Kei Kobayashi^1,2, Kuniko Kimura¹, Hirofumi Yamada¹ (1.Dept. of Electronic Sci. & Eng., Kyoto Univ., 2.The Hakubi Center for Adv. Res., Kyoto Univ.)

Keywords:AFM,band excitation method,transient response

最近，原子間力顕微鏡 (AFM)を用いて表面下構造を可視化できることが報告されているが,メカニズムが明らかになっていない．本研究では，AFMによる表面下構造の可視化メカニズム解明のために，バンド励振法を用いて過渡応答を取得し，接触共振スペクトルを導出した．本手法を用いれば，5 msと短い掃引時間でも，過渡応答の影響のないスペクトルを取得でき，表面化構造の可視化のメカニズム解明へ資すると期待できる．