[16a-2U-1~12] 6.6 プローブ顕微鏡

△ [16a-2U-2] 原子間力顕微鏡におけるバンド励振法を用いた表面下構造の可視化

〇(PC)八尾 惇¹、小林 圭^1,2、木村 邦子¹、山田 啓文¹ (1.京大院工、2.京大白眉セ)

キーワード：原子間力顕微鏡、バンド励振法、過渡応答

最近，原子間力顕微鏡 (AFM)を用いて表面下構造を可視化できることが報告されているが,メカニズムが明らかになっていない．本研究では，AFMによる表面下構造の可視化メカニズム解明のために，バンド励振法を用いて過渡応答を取得し，接触共振スペクトルを導出した．本手法を用いれば，5 msと短い掃引時間でも，過渡応答の影響のないスペクトルを取得でき，表面化構造の可視化のメカニズム解明へ資すると期待できる．