[16a-2U-1~12] 6.6 プローブ顕微鏡

[16a-2U-8] 基板上に分散したナノ材料計測位置合わせ方法の開発

〇井藤 浩志¹、新妻 潤一¹ (1.産総研)

キーワード：原子間力顕微鏡、ナノ材料、光学顕微鏡ぶ

原子間力顕微鏡は非常に高分解能であるが、たの顕微鏡と比べて、低倍率の画像化が困難である。多くの場合、光学顕微鏡と複合化してその欠点を補っているが、波長（λ）以下の構造物を探すのは容易でない。AFMと組み合わせる光学顕微鏡の照明法を工夫して、λ/2以下の構造物の存在を認識できるように工夫し、位置合わせを容易にした。これらを実現するために、透過照明や近接場照明を改良した結果について報告する。