[16a-PA2-1~60] 17 Nanocarbon Technology（Poster）

[16a-PA2-39] Stability of bromine-doped multilayer graphene

〇Keisuke Kawamoto¹, Yuta Mori¹, Yuzi Matsumoto¹, Hisao Miyazaki², Tadashi Sakai², Akihiro Kajita², Kazuyoshi Ueno^1,3 (1.Shibaura Inst. Tech., 2.Toshiba, 3.SIT Res. Center for Green Innovation)

Keywords:nanocarbon

Cu配線に代わるLSIの配線材料として、多層グラフェン（MLG）へのインターカレーションドーピングを想定している。LSIプロセス中におけるドーパントの脱離が懸念されるため、本研究では臭素ドープ多層グラフェンの安定性について調査した。