[16a-PA2-1~60] 17 ナノカーボン（ポスター）

[16a-PA2-50] シリコンモノオキサイド蒸着膜によるグラフェンのドーピング

〇鈴木 誠也¹、吉村 雅満¹ (1.豊田工大)

キーワード：グラフェン、電界効果トランジスタ、ドーピング

シリコンモノオキサイド（SiO）の蒸着により、グラフェン上に欠陥を誘起せず誘電体（SiO_x）を形成出来ることが分かっているが、電気特性への影響は明らかではなかった。本報告では、SiO_x膜の組成(Si/O比)を変化させ、界面構造の違いによりSiO膜とグラフェン間の電荷移動、すなわちドーピングについて調べた。その結果、SiO-likeなSiO_x膜とSiO₂-likeなSiO_x膜が異なるドーピングを与えることが示された。