[16p-2D-1~14] 13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション

[16p-2D-1] SSRM（Scanning Spread Resistance Microscope）測定技術のデバイス故障解析への応用

〇早瀬 洋平¹、原 啓良¹、小形 信介¹、張 利²、圷 晴子¹ (1.（株）東芝　S&S社、2.（株）東芝　R&D Center)

キーワード：SSRM、PN接合、故障解析

原子間力顕微鏡から派生した走査型静電容量顕微鏡法は、LSIの評価/解析においてSilicon内の不純物拡散を可視化する手法として非常に有効なツールである。しかし、LSIの微細化進行とともに空間分解能が不足し、新たな拡散状態可視化手法として走査型広がり抵抗顕微鏡（SSRM）が注目を集めている。不良解析に貢献している事例を紹介し、SSRMが今後の故障解析ツールとして有効であることを示したい。