[16p-2D-1~14] 13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション

[16p-2D-5] 酸素還元活性を持つ触媒金属による水中でのGe表面平坦化の試み

〇有馬 健太¹、川瀬 達也¹、齋藤 雄介¹、川合 健太郎¹、佐野 泰久¹、山内 和人¹、森田 瑞穂¹ (1.阪大院工)

キーワード：Ge表面、酸素還元反応、水

溶存酸素を介した水中での金属アシストエッチングを用いて、Ge表面の平坦化を試みた。具体的には、軟質パッド上にPt薄膜を形成し、溶存酸素が飽和した水中でGeウエハ表面に接触・回転させた。そして、Ge表面のマイクロラフネスが改善されることを見出した。これは、Ge表面の凸部が選択的に金属薄膜表面と接触し、金属が持つ酸素還元活性により、凸部のみが水溶性のGeO₂に変化したためであると考えられる。