[16p-2Q-1~13] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

[16p-2Q-10] 窒素原子イオンビームによる高アスペクト比スリット内の窒化

〇原 安寛¹、原 民夫^1,2 (1.プラズマ総研、2.豊田工大)

キーワード：イオンビーム窒化、高アスペクト比内面

鋼の窒化処理とは窒素原子を鋼表面から内部へ拡散浸透させて、その硬度を向上させる表面改質法である。金型や切削工具、機械部品の表面硬度や耐摩耗性の向上を目的とした表面処理法としてイオン窒化が用いられてきた。従来のイオン窒化法では狭いスリット内面への窒化処理が困難であった。本研究では、電子ビーム励起プラズマ(EBEP)から加速された窒素原子イオンビームを主体とした高アスペクト比を持つスリット内壁の窒化の研究を行った。