2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

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[16p-2Q-1~13] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

2015年9月16日(水) 13:45 〜 17:00 2Q (231-1)

座長:荻野 明久(静岡大)

15:45 〜 16:00

△ [16p-2Q-9] リモート窒素プラズマの照射によるSiCの表面窒化における冷却の効果

〇嶋林 正晴1、栗原 一彰2、佐々木 浩一1 (1.北大工、2.東芝研究開発センター)

キーワード：炭化ケイ素