[16p-2T-1~7] 17.2 Structure control and process

△ [16p-2T-6] Polymer-free transfer of CVD graphene to boron nitride substrates

〇(DC)Miho Fujihara¹, Shun Ogawa², Ryosuke Inoue², Kenji Watanabe³, Takashi Taniguchi³, Hisanori Shinohara¹, Yasumitsu Miyata^2,4 (1.Nagoya Univ., 2.Tokyo Metro. Univ., 3.NIMS, 4.JST-PRESTO)

Keywords:graphene,boron nitride,transfer

本研究では、BN結晶を銅箔上のグラフェンに直接固定し、銅箔をエッチングすることにより、BN基板へグラフェンを直接転写した。その結果、通常のポリマーを用いた転写法と比べて、きわめて清浄な表面をもつグラフェン/BN積層構造が得られた。