SENTECH Instruments GmbH : Spectroscopic ellipsometer, NS : Ion Beam Milling System, NU System Inc. : Radical Monitor, Pfeiffer Vacuum GmbH : Mass Spectrometer,Vacuum components etc...

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■ウエストボンド ■ウェッジワイヤーボンダー 7400D ■エポキシボンダー 7200CR ■エポキシ共晶ダイボンダー ■ストップチップボンダー M90 ■卓上型マニュアル劈開装置 ■小型マニュアルプローバー HMP-400 ■真空・ガス置換電気炉 ■高速熱処理装置 AW61０ ■4深針プローバー ■UV PITARI

Microscope Laser Raman Spectrometer, GD-OES, Cathodeluminescence(CL), Gratings, Mass Flow Controller

Atomic Layer Deposition Tools/ GEMStar XT/XT-P Arradiance, Inc. USA : Benchtop ALD platform. Possible deposition on 4”, 6”, 8” wafers and structures of height up to 30mm. , Pulse Laser Deposition ...

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