[11a-A21-1~11] 13.8 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術

△ [11a-A21-8] 容量測定法によるSiC-PNダイオードの電荷変動機構解析

〇松島 宏行¹、沖野 泰之¹、望月 和浩¹、山田 廉一¹ (1.日立中研)

キーワード：SiC、ターミネーション、容量測定