[11a-A23-1~12] 13.5 デバイス／集積化技術

△ [11a-A23-6] InGaAs-MOSFET のチャネル長微細化に関する研究

〇大澤 一斗¹、三嶋 裕一¹、宮本 恭幸¹ (1.東工大理工)

キーワード：InGaAs-MOSFET、近接効果補正