[11a-A27-1~13] 13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション

[11a-A27-1] [講演奨励賞受賞記念講演] 半導体プロセスを用いたナノギャップ電極の作製及びその電気特性

〇吉水 康人¹、田中 裕介¹、冨田 寛¹ (1.東芝)

キーワード：半導体、ナノギャップ、水