[11a-A29-1~13] 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[11a-A29-10] ミニマルBOSCHプロセス

〇田中 宏幸¹、清水 禎樹^{1, 2}、小木曽 久人^{1, 2}、中野 禅^{1, 2}、速水 利泰³、宮崎 俊也³、富阪 賢一³、手錢 永充³、クンプアン ソマワン^{1, 2}、原 史朗^{1, 2} (1.ミニマルファブ, 2.産総研, 3.SPPテクノロジーズ)

キーワード：ミニマルファブ、ボッシュ、ＭＥＭＳ