[11a-A29-1~13] 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[11a-A29-7] シリコンフォトニクス光集積回路におけるプロセス課題 (Ⅱ) 光機能素子の集積と実装

〇木下 啓藏¹、堀川 剛^{1, 2}、奥村 滋一¹、竹村 浩一¹、清水 隆徳¹、藤方 潤一¹、最上 徹¹ (1.PETRA, 2.産総研)

キーワード：シリコンフォトニクス、光集積回路、深掘りエッチング