[11a-B1-1~12] 15.4 III-V族窒化物結晶

[11a-B1-11] 反応性パルスDCスパッタ法により作製されたAlN膜の結晶性および表面構造に及ぼすスパッタ電力の影響

竹内 洋仁¹、〇大塚 誠¹、福山 博之¹ (1.東北大学多元研)

キーワード：窒化アルミニウム、反応性パルスDCスパッタ、結晶性