2015年第62回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.4 III-V族窒化物結晶

[11a-B1-1~12] 15.4 III-V族窒化物結晶

2015年3月11日(水) 08:30 〜 11:45 B1 (6B-101)

10:45 〜 11:00

[11a-B1-9] GaN growth on Hf foils using nearly lattice-matched HfN barriers by pulsed sputtering deposition

〇(D)Hyeryun Kim1, Jitsuo Ohta1, Atsushi Kobayashi1, Kohei Ueno1, Hiroshi Fujioka1, 2, 3 (1.The Univ. of Tokyo, 2.JST-CREST, 3.JST-ACCEL)

キーワード:Gallium nitride,Hafnium nitride,pulsed sputtering deposition