[11a-B2-1~10] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

[11a-B2-2] ビルトインレンズマスクリソグラフィによる3次元露光の検討Ⅱ

上田 直樹¹、田中 利樹¹、菊田 久雄¹、川田 博昭¹、笹子 勝¹、〇平井 義彦¹ (1.大阪府立大)

キーワード：リソグラフィ、3次元