[11a-D8-1~10] 6.4 薄膜新材料

[11a-D8-5] 斜め入射堆積Ti薄膜の熱酸化による酸化チタン薄膜の作製

〇星 陽一¹、小林 信一¹、北原 直人¹、澤田 豊¹ (1.東京工芸大工)

キーワード：酸化チタン、斜め入射堆積、光触媒材料