[11a-D8-1~10] 6.4 薄膜新材料

[11a-D8-7] 非平衡プラズマを用いたTiO₂膜の作成における雰囲気制御の影響

〇増田 優貴¹、丹 祐人¹、金指 翔大¹、奥谷 昌之^{1, 2} (1.静岡大院工, 2.静岡大グリーン研)

キーワード：沿面放電、プラズマ、酸化チタン