[11a-P4-1~18] 6.2 カーボン系薄膜

[11a-P4-1] 高品質ダイヤモンド膜合成用廉価マイクロ波プラズマCVD装置の開発

〇宮田 昌和¹、毎田 修¹、南光 正平²、伊藤 利道¹ (1.阪大院工, 2.ニッシン)

キーワード：ダイヤモンド