[11a-P4-1~18] 6.2 カーボン系薄膜

[11a-P4-16] PBII法により作製したヨウ素添加アモルファスカーボン薄膜への熱処理効果

〇(M2)溝上 知広¹、中尾 節男²、岸 直希¹、曽我 哲夫¹ (1.名工大, 2.産総研)

キーワード：アモルファスカーボン