2015年第62回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(ポスター講演)

6 薄膜・表面 » 6.2 カーボン系薄膜

[11a-P4-1~18] 6.2 カーボン系薄膜

2015年3月11日(水) 09:30 〜 11:30 P4 (総合体育館)

09:30 〜 11:30

[11a-P4-2] {111}リンドープダイヤモンド薄膜成長のオフ角依存性

〇(PC)山本 卓1、小泉 聡1 (1.物材機構)

キーワード：半導体、プラズマCVDエピタキシャル成長