2015年第62回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

6 薄膜・表面 » 6.2 カーボン系薄膜

[11a-P4-1~18] 6.2 カーボン系薄膜

2015年3月11日(水) 09:30 〜 11:30 P4 (総合体育館)

09:30 〜 11:30

[11a-P4-5] Si基板上への高配向ボロンドープ・ダイヤモンドの選択成長

〇(M1C)小宮 一輝1、市川 直斗1、小島 隆平1、相馬 勇治1、一色 秀夫1 (1.電通大院先進理工)

キーワード:ダイヤモンド、選択成長、パワーデバイス